SEM EDX
Die Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX() ist eine zur Röntgenspektroskopie gehörende Messmethode der Materialanalytik. Man regt die Atome in der Probe durch einen Elektronenstrahl einer bestimmten Energie an, sie senden dann Röntgenstrahlung einer für das jeweilige Element spezifischen Energie aus, die charakteristische Röntgenstrahlung. Diese Strahlung gibt Aufschluss über die Elementzusammensetzung der Probe. Ein ähnliches Verfahren ist die energiedispersive Röntgenabsorption bei der die Absorption anstelle der Emission ausgewertet wird.
Technische Daten
| Wolframkathode 0,2 – 30 KeV |
| BSE YAG – Detektor |
| EDX 30 mm2 SD – Detektor |
