Sputter Coater EmiTech K950X
Mit dem Sputter Coater können dünne Metall- und Kohlenstoffschichten abgeschieden werden. Dadurch können Elektroden auf nicht leitende Oberflächen aufgebracht, die nur wenige Nanometer dick sind.
Sputter Coater EmiTech K950X Technische Daten
| Maximal erreichbares Vakuum | 7,5 x 10^-5 bar |
| sputterbare Elemente | Au, Ag, Pt, Ag Pd und C |
