SEM - FIB - TEM

ist ein hochauflösendes REM mit verschiedenen Abbildungsmöglichkeiten (in-lens SE, BSE, STEM). Die probennahe Position des BSE-Detektors erlaubt die Abbildung des chemischen Kontrastes bis zu hohen Vergrößerungen. Die hohe Zählrate des EDX-Detektors ermöglicht Element-Mappings in geringer Zeit.

Installation: 2011

Auflösung: 1.0 nm (15 kV) – 1.4 nm(1.0 kV)

Ausstattung:

- Feldemissionskathode (Schottky)

- in-lens SE-Detektor

- BSE-Detektor

- EDX-Detektor (SDD-X-Max 80, Oxford)

- STEM-Detektor

ist eine dual-beam FIB, in der die Probe parallel zur Ionendünnung bzw. Bearbeitung abgebildet werden kann. Ausgestattet mit einem EDX-Detektor, einer EBSD-Einheit, einem Kleindiek Mikromanipulator und einer Elektronenlithographie-Einheit erlaubt die FIB eine gezielte TEM-Probenpräparation, Folien-Liftout sowie eine lokale Materialcharakterisierung (Abbildung, Analytik und Beugung).

Installation: 2012

Auflösung: 1.2 nm (30 kV, REM), 5.0nm (30kV, SE/Ga-Ionen)

Ausstattung:

- Feldemissionskathode (Schottky)

- in-lens SE-Detektor

- BSE-Detektor

- EDX-Detektor (INCA Energy 350, Oxford)

- Mikromanipulator (dreiachsig, Kleindiek)

- Gaseinlass-Systeme (Pt, C)

- Lithographie-System (Elphy Plus, Raith)

ein sehr verlässliches TEM für die Routineanwendung und wird u.a. auch in der Ausbildung der Studierenden eingesetzt. Ausgestattet mit einer LaB6-Kathode, einem EDX-System und einer STEM-Einheit, dient es der chemischen und strukturellen Untersuchung vieler Materialsysteme. Es stehen eine Reihe von Haltersystemen zur Verfügung, die u.a. in-situ E-Feld Untersuchungen ermöglichen.

Installation: 1993

Auflösung: 2.3 Å(TEM, 200 kV)

Ausstattung:

- LaB6-Kathode

- BF, DF, Beugung

- STEM-Einheit

- Einfachkipphalter

- Be-Doppelkipphalter

- Doppelkipphalter (gekühlt)

- E-Feld Halter (SFB 595; Eigenbau)

- EDX-Detektor (SDD-X-Max 80, Oxford)

- CCD-Kamera

steht einem breiten Nutzerkreis zur Verfügung, insbesondere für Routineanwendungen. Zusätzlich zum konventionellen TEM (BF, DF, SAED) ermöglicht eine STEM-Einheit in Kombination mit einem SDD-EDS-Detektor chemische Untersuchungen mit höherer Auflösung und hohen Zählraten.

Installation: – 2011

Auflösung: - 2,2 Å (TEM, 200 kV)

Ausstattung:

- Feldemissionskathode (Schottky-Emitter)

- EDS-Detektor (X-Max 80 SDD-Detektor, Oxford)

- DF, HAADF, BF

- Be Doppelkipp-Halterung

- Ta Doppelkipp-Heizhalter (1000°C)

- Single Kipphalterung

ermöglicht die Abbildung und chemische Charakterisierung auf atomarer Ebene durch Korrektur der sphärischen Aberration (Cs) des Kondensorsystems. Hauptanwendungen sind daher die Charakterisierung von Grenzflächen, Phasengrenzen, Kristalldefekten sowie höchstauflösende chemische Untersuchungen mittels EELS und EDS.

Einrichtung: – 2011

Auflösung: – 0,8 Å (STEM); 1,9 Å (TEM, 200kV)

Ausstattung:

- Feldemissionskathode (Schottky-Emitter)

- Cs-Korrektor (Kondensorsystem)

- EELS-Detektor (Gatan Enfina)

- EDS-Detektor (JED 2300T, JEOL)

- DF, HAADF, BF, ABF

- Stabilisiertes Be Doppelkipphalterung

- Einzelne Kipphalterung

- In situ TEM Vorspannung & Heizung – DENSsolutions Lightning

- In situ TEM Gas und Heizung – DENSsolutions Klima