Elektro-optische Analyse

Wir haben einen Versuchsaufbau zur Messung der elektrischen Eigenschaften bei erhöhten Temperaturen bis 700 °C unter kontrolliertem Druck und Sauerstoffpartialdruck entwickelt.

Die Probenhalter sind speziell für Dünnschichtproben ausgelegt, können aber auch für die Messung von Einkristallen und gesinterten polykristallinen Proben modifiziert werden.

2 von 5 solcher Messaufbauten können bis zu einem Druck von 10^-7 mbar evakuiert werden.

Die Versuchsaufbauten können für folgende Messungen verwendet werden:

  • in situ Hall-Effekt und Leitfähigkeitsrelaxationsmessungen zur Analyse der Defektchemie und der Sauerstoffaustauschkinetik von transparenten Leitern, Ionenleitern und Mischleitern,
  • in-situ Hall-Effekt-Messungen mit elektrochemischer Probenpolarisation zur Untersuchung von Leitfähigkeits- und Mobilitätsgrenzen von dotiertem In2O3,
  • Aktivierungsenergiemessungen in Abhängigkeit von der Sauerstoffleerstellenkonzentration zur Bestimmung von Defektenergieniveaus,
  • Analyse der Widerstandsdegradation von Dielektrika mit hoher Permittivität in Abhängigkeit vom Elektrodenmaterial.

Weitere Ausstattung:

  • Manuelle Probe-Station mit Impedanzanalysator und Halbleiterparameter-Analysator,
  • Niedertemperatur-Hall-Effekt-Aufbau mit einem He-Kryostaten in einem geschlossenen Kreislauf,
  • Cary UV-VIS-Spektrometer mit universellem Messaufbau.