Die Probenhalter sind speziell für Dünnschichtproben ausgelegt, können aber auch für die Messung von Einkristallen und gesinterten polykristallinen Proben modifiziert werden.
2 von 5 solcher Messaufbauten können bis zu einem Druck von 10^-7 mbar evakuiert werden.
Die Versuchsaufbauten können für folgende Messungen verwendet werden:
- in situ Hall-Effekt und Leitfähigkeitsrelaxationsmessungen zur Analyse der Defektchemie und der Sauerstoffaustauschkinetik von transparenten Leitern, Ionenleitern und Mischleitern,
- in-situ Hall-Effekt-Messungen mit elektrochemischer Probenpolarisation zur Untersuchung von Leitfähigkeits- und Mobilitätsgrenzen von dotiertem In2O3,
- Aktivierungsenergiemessungen in Abhängigkeit von der Sauerstoffleerstellenkonzentration zur Bestimmung von Defektenergieniveaus,
- Analyse der Widerstandsdegradation von Dielektrika mit hoher Permittivität in Abhängigkeit vom Elektrodenmaterial.
Weitere Ausstattung:
- Manuelle Probe-Station mit Impedanzanalysator und Halbleiterparameter-Analysator,
- Niedertemperatur-Hall-Effekt-Aufbau mit einem He-Kryostaten in einem geschlossenen Kreislauf,
- Cary UV-VIS-Spektrometer mit universellem Messaufbau.