DAISY-SOL

Wir haben ein Cluster-Tool entworfen, das speziell for Dünnschichtsolarzellen ausgelegt ist und eingesetzt wird, um gezielt Grenzflächen-bezogene Fragen aus der Anwendung der Dünnschichtsolarzellen zu bearbeiten. Dieses System besteht aus einer Reihe von Depositionskammern, die direkt an eine Multitechnik-UHV-Analyse-Einheit angekoppelt sind. Hierbei werden Präparation und Weiterprozessierung der Solarzellen in die Analyse integriert. Eine schematische Darstellung des Cluster-Tools ist unten dargestellt.