Multitechnik-Oberflächenanalysesystem

Multitechnik-Oberflaechenanalysesystem

X-Ray Photoelektronenspektroskopie (XPS, ESCA)

UV Photoelektronenspektroskopie (UPS)

Ionenstreuspektroskopie (LEISS)

Elektronenbeugung (LEED)

Präparationskammer 1 mit Spaltzange, Sputtereinheit, Aufdampfquellen

MBE-Kammer mit heizbaren Probenträger und verschiedenen Aufdampfquellen

Gerät: VG ESCALAB MK II

Einsatzgebiet: Qualitative und quantitative Analytik von Oberflächen und Grenzflächen

Analytische Charakteristika:

Tiefenauflösung 0.2 – 2 nm

Spektrale Auflösung: 0.8 eV (XPS)

Nachweisstärke: strukturelle, elektronische und chemische Informationen über Oberflächen und Grenzflächen, innere Grenzflächen sind über zielgerichtete Experimente zugänglich

Routineanalyse: Dieses Spektrometersystem ist vorwiegend zur Standardanalyse ohne die Möglichkeit der lateralen Auflösung und mit geringerer Energieauflösung geeignet.