Topochemische Analytik

Topochemische Analytik SIMS

Sekundärionen-Massenspektrometer: Cameca ims5f

Geladene Atome und Moleküle werden aus den obersten Lagen einer Oberfläche unter Ionenbeschuss herausgelöst. Diese Sekundärionen können (mittels Sektorfeldern) massensepariert und detektiert werden.

  • Primärionen: Sauerstoff, Argon oder Cäsium
  • Primärenergie: 1-17 keV (auch abhängig von der Ionenquelle und Polarität)
  • Laterale Auflösung: bis zu ~1 µm
  • Tiefenauflösung: einige nm
  • Nachweisgrenze: bis ppb (abhängig von Element und Meßbedingungen)
  • Probengröße: 1 Zoll (2,5 cm) Durchmesser, 1 cm Höhe
  • Messfläche: bis 500x500 µm²
  • Nachweisbare Elemente: alle (beginnend bei H)
  • Massenauflösung: bis 25000