Sekundärmassenspetrometrie

Sekundärionenmassenspektrometrie, SIMS, hochauflösend (Sektorfeldmassenspektrometer)

Gerät: CAMECA IMS 5 f, Paris

Einsatzgebiet: Erfassung von Elementverteilungen (2 D oder 3 D) bis in den Spuren- oder Ultraspurenbereich(ppb) für alle Elemente; Erfassung von Isotopenverteilungen (2 D oder 3 D) von Elementen (z.B. für Diffusionsmessungen)

Analytische Charakteristika:

Tiefenauflösung: im Bereich 5 bis 20 nm

Laterale Auflösung: bis minimal 0,5 µm

Quantifizierung: schwierig, aber nicht unmöglich

Nachweisstärke: Empfindlichstes topochemisches Analyseverfahren. Allerdings schwanken Empfindlichkeitsfaktoren über 6 Größenordnungen.