Elektronenstrahlmikroanalyse

Elektronenstrahlmikroanalyse, ESMA

Gerät: CAMECA CAMEBAX SX-50, Paris mit 1 EDX-System (Princeton Gamma Tech) und 4 Kristallspektrometern. Eines davon ist horizontal montiert (zur semiquantitativen Analyse von rauen Oberflächen), 3 sind vertikal montiert.

Einsatzgebiet: Erfassung von Elementverteilungen (2 D) in günstigen Fällen bis zu ca. 10 ppm, für leichte Elemente (bis B) mit verminderter Empfindlichkeit

Analytische Charakteristika:

Tiefenauflösung: ein bis einige µm

Laterale Auflösung: ein bis einige µm

Quantifizierung: mit Korrekturprogrammen für ebene Proben gut möglich, wenn Phasen oder untersuchte Bereiche groß genug sind (etwas größer als das Anregungsvolumen, d.h. einige µm³)

Nachweisstärke: stark von Probenmatrix (Dichte) und analysiertem Element abhängig. In günstigen Fällen ein Zehner-ppm-Bereich.