REM Mokroskopie

REM Mikroskopie inkl. Kathodolumineszenz

Geräte: JEOL 6300F, Gatan Mono CL

Einsatzgebiet: Oberflächen-Analyse

Analytische Charakteristika: Feldemissions-Kathode mit 2 Detektoren (SE, BE)

Auflösung SE 1,5 nm; BE 3nm (30 kV)