PLD

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PLD R11 – © Gabi Haindl
PLD, Raum 11

Moderne Anlage zur gepulsten Laserdeposition (PLD), die alle Komponenten für hochwertige Dünnschichtherstellung enthält – von Hochdruck-Hochspannungs-RHEED über Laserheizung bis hin zur in-situ Laserenergiemessung. Das System dient zur Herstellung von Schichten und Heterostrukturen für die oxidische Elektronik.