Hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie

Gerät: Philips, Modell: XL 30 FEG

Daten: rechnergesteuerte Bedienung

SEM: £ – 30 kV, Auflösung bis zu 1nm bei ³ 20 kV

Probengröße: nach Nachfrage, z. B. 3 Zoll-Wafer möglich

EDX: Energieauflösung:138 eV, F für (Mn Ka) durch super-ultradünnes Fenster, sehr hohe Empfindlichkeit für leichte Elemente (C, O, B, N…)

Bildarchivierung: Videoprint, Photo, Speichern im TIFF-Format auf Diskette 3,5 '' oder ZIP-Diskette

Proben-anforderungen: nur feste Proben, keine losen Pulver, keine Proben, die ausgasen