Analytik

SIMS

SIMS ims5f
SIMS ims5f

Sekundärionen-Massenspektrometer: Cameca ims5f

Geladene Atome und Moleküle werden aus den obersten Lagen einer Oberfläche unter Ionenbeschuss herausgelöst. Diese Sekundärionen können (mittels Sektorfeldern) massensepariert und detektiert werden.

  • Primärionen: Sauerstoff, Argon oder Cäsium
  • Primärenergie: 1-17 keV (auch abhängig von der Ionenquelle und Polarität)
  • Laterale Auflösung: bis zu ~1 µm
  • Tiefenauflösung: einige nm
  • Nachweisgrenze: bis ppb (abhängig von Element und Meßbedingungen)
  • Probengröße: 1 Zoll (2,5 cm) Durchmesser, 1 cm Höhe
  • Messfläche: bis 500x500 µm²
  • Nachweisbare Elemente: alle (beginnend bei H)
  • Massenauflösung: bis 25000

XPS/AES

Specs Phoibos 100 basiertes System mit Möglichkeit zu XPS-, AES- und ISS-Messungen.

REM

Jeol JSM-6300F

Topographie

Profilometer

Messung minimaler Höhenunterschiede durch Bewegung der Probe unter einer Nadel mit Diamantspitze in der Form von Linienscans.

Profilometer Dektak XT
Profilometer Dektak XT

Dektak XT Advanced System, mit 3D-Mapping und Stitching, auf Vibrationsisolationstisch

  • Vertikaler Bereich: 6,5 µm / 65,5 µm / 524 µm / 1 mm
  • Vertikale Auflösung: 1 Å @ 6,5 µm vertikaler Bereich
  • Scanlängenbereich: 55 mm (200 mm mit Stitching)
  • Horizontale Auflösung: 120.000 Punkte
  • Probenbühnendurchmesser: 6" (15,2 cm)
  • Kraft auf Spitze: 1-15 mg
  • Spitzenradius: 2,5 µm, 5 µm, 12,5 µm, 25 µm
  • Datentransfer: USB
Profilometer D8000
Profilometer D8000

Dektak D8000

  • Vertikaler Bereich: 65 kÅ / 655 kÅ / 2620 kÅ
  • Vertikale Auflösung: 1 Å / 10 Å / 40 Å
  • Scanlängenbereich: 50 µm – 200 mm
  • Horizontale Auflösung: 15000 Punkte
  • Probenbühnendurchmesser: 8,5" (21,6 cm)
  • Kraft auf Spitze: 1-100 mg (0.01-1 mN)
  • Spitzendurchmesser: 12.5 µm
  • Datentransfer: floppy disk

Tribometer

Tribometer CSM
Tribometer CSM

Pin-on-Disk Tribometer

Messung des Reibungskoeffizienten durch Auswertung der tangentialen Kraft auf einen Stab oder eine Kugel während der Bewegung über die Probe.

  • Reibungskraft: bis 10 N
  • Bewegung: rotierend
  • Drehgeschwindigkeit: bis zu 500 rpm
  • Max. Probendimensionen: 60 mm Durchmesser, 15 mm Höhe

Adhäsionstester

Quad Group Romulus
Quad Group Romulus

Romulus Universal Tester mit Breaking Point Platform

Zugtest an einem auf die Probe aufgeklebten Pin.

  • Kraft: 0,25-100 kg
  • Pindurchmesser: 2,7 mm