Spincoating

Automatisierte Beschichtung vieler Substrate mit viskosen polymeren Vorstufen.

Spincoater

Gerät:SPIN150-v3, SPS Semiconductor Production Systems

Charakteristika:

Substratgröße: bis 150 mm oder 6 inch im Durchmesser, bzw. 101,6 x 101,6 mm (4„ x 4“) im Quadrat

max. Speed: 10000 rpm, für 1000 Sek. bis zu 99 Steps