Plasma-Ätzer
Gerät: Polaron PT7100 RF Plasma Barrel Etcher
Analytische Charakteristika:
Ätzgas: O2/CF4
Probengrößen: bis zu Ø ca. 10 cm
FG Disperse Feststoffe
Durch Plasma-Ätzungen können unterschiedliche Silicium-haltige keramische und metallische Phasen sowie Korngrenzen an den Oberfläschen von Bulkmaterialien chemisch aktiviert und z. B. für optische Untersuchungen kontrastiert werden.
Gerät: Polaron PT7100 RF Plasma Barrel Etcher
Analytische Charakteristika:
Ätzgas: O2/CF4
Probengrößen: bis zu Ø ca. 10 cm