Plasma-Ätzen

Durch Plasma-Ätzungen können unterschiedliche Silicium-haltige keramische und metallische Phasen sowie Korngrenzen an den Oberfläschen von Bulkmaterialien chemisch aktiviert und z. B. für optische Untersuchungen kontrastiert werden.

Plasma-Ätzer

Polaron PT7100 RF Plasma Barrel Etcher

Gerät: Polaron PT7100 RF Plasma Barrel Etcher

Analytische Charakteristika:

Ätzgas: O2/CF4

Probengrößen: bis zu Ø ca. 10 cm