DAISY-MAT

Plasma in einer Vakuumkammer

DAISY-MAT

DArmstädter Integriertes SYstem für MATerialforschung

DAISY-MAT: Layout
DAISY-MAT: Layout

DAISY-MAT: Spezifikationen

Einsatzgebiete:

Qualitative und quantitative Analytik von Oberflächen und Grenzflächen

Nachweisstärke: strukturelle, elektronische und chemische Informationen über Oberflächen und Grenzflächen, innere Grenzflächen sind über zielgerichtete Experimente zugänglich

Elektronen-Spektrometer:

Physical Electronic 5700

  • Monochromatisierte und lateral auflösende Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS, ESCA)
  • UV-Photoelektronenspektroskopie (UPS)
  • Ionenstreuspektroskopie (LEISS)

Analytische Charakteristika:

  • Tiefenauflösung 0.2 – 2 nm
  • Spektrale Auflösung < 0.4 eV (XPS), < 0.2 eV (UPS)
  • Laterale Auflösung 30 µm

Verteilerkammer

Präparationseinheiten

  • MBE-Kammer mit heizbaren Probenträger und verschiedenen Aufdampfquellen
  • Depositionskammer für Magnetron-Sputtern