Plasmaätzen

Plasmaätzen

Polaron PT7100 RF Plasma Barrel Etcher
Polaron PT7100 RF Plasma Barrel Etcher

Gerät: Polaron PT7100 RF Plasma Barrel Etcher

Analytische Charakteristika:

Ätzgas: O2/CF4

Probengrößen: bis zu Ø ca. 10 cm